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510所“高精度宽量程超高真空计”入选兰州市双“十大”项目

时间:2017年08月23日 信息来源:中国空间技术研究院 点击: 字体:

近日,在兰州市组织的首次“十大科技项目”和“十大科技创新项目”的遴选活动中,510所承担的“高精度宽量程超高真空计”以较强的引领示范性、经济社会效益、支撑产业创新发展等方面的能力,通过层层选拔正式入选兰州市“十大科技项目”和“十大科技创新项目”,并获得100万元经费支持。

超高真空计是离子加速度器、核聚变、表面工程、半导体技术等领域必须的超高真空测量仪器,但目前国内产品无法满足应用要求,国外高端产品占据主要市场份额。目前,国内真空测量仪器下限仅为10-7Pa,510长期从事超高真空测量工作,对于超高真空测量下限延伸、fA级微弱信号采集处理等多项关键技术已形成了相关自主知识产权,在本项目中,510所将开展真空规管和控制单元工艺优化设计,研制测量范围10-9 Pa—10-2Pa的高精度宽量程超高真空计样机,达到国内最高水平,与国际同类产品达到同等技术水平,将填补国内技术空白,替换国外高端产品,占据国内高端真空测量仪器市场。

在“中国制造2025”大力倡导核心制造装备国产化的大背景下,开展高精度宽量程超高真空计的产品化研究后,将大幅提升我国真空计量检测能力,对于真空装备制造业体制增效、推动我国经济发展保持中高速增长,迈向中高端水平,具有重点的现实意义。





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