近日，在兰州市组织的首次“十大科技项目”和“十大科技创新项目”的遴选活动中，510所承担的“高精度宽量程超高真空计”以较强的引领示范性、经济社会效益、支撑产业创新发展等方面的能力，通过层层选拔正式入选兰州市“十大科技项目”和“十大科技创新项目”，并获得100万元经费支持。
超高真空计是离子加速度器、核聚变、表面工程、半导体技术等领域必须的超高真空测量仪器，但目前国内产品无法满足应用要求，国外高端产品占据主要市场份额。目前，国内真空测量仪器下限仅为10-7Pa，510长期从事超高真空测量工作，对于超高真空测量下限延伸、fA级微弱信号采集处理等多项关键技术已形成了相关自主知识产权，在本项目中，510所将开展真空规管和控制单元工艺优化设计，研制测量范围10-9 Pa—10-2Pa的高精度宽量程超高真空计样机，达到国内最高水平，与国际同类产品达到同等技术水平，将填补国内技术空白，替换国外高端产品，占据国内高端真空测量仪器市场。
在“中国制造2025”大力倡导核心制造装备国产化的大背景下，开展高精度宽量程超高真空计的产品化研究后，将大幅提升我国真空计量检测能力，对于真空装备制造业体制增效、推动我国经济发展保持中高速增长，迈向中高端水平，具有重点的现实意义。
